碳化硅晶舟使用超長壽命
碳化硅晶舟、碳化硅陶瓷晶舟、碳化硅懸臂槳，擴散爐槳系統結構比較簡單，SiC槳攜帶舟和硅片進入石英爐管后，就停留在石英爐管內，直到工藝程序結束，SiC槳就攜帶舟和硅片慢慢回到原位
擴散爐用于大規模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件和光導纖維等行業的擴散、氧化、退火、合金及燒結等工藝。碳化硅槳應用于在光伏太陽能行業，電子行業中，在擴散爐中對多晶硅硅片或單晶硅硅片的（擴散）涂層過程中，對硅片在高溫環境中（1000---1300℃）的承載輸送作用
擴散工藝的主要用途是在高溫條件下對半導體晶圓進行摻雜，即將元素磷、硼擴散入硅片，從而改變和控制半導體內雜質的類型、濃度和分布，以便建立起不同的電特性區域。
碳化硅晶舟、碳化硅陶瓷晶舟
訂購熱線：029-63615809；13571957961
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坩堝匣缽