陶瓷手指
碳化硅陶瓷,氧化鋯陶瓷具有優良的常溫力學性能,如高強度、高硬度、高彈性模量等,優異的高溫穩定性,如高導熱系數、低熱膨脹系數等,以及良好的比剛度和光學加工性能,特別適合用于制備光刻機等 集成電路裝備用精密陶瓷結構件,如用于光刻機中的精密運動工件臺、骨架、吸盤、水冷板以及精 密測量反射鏡、光柵等陶瓷結構件等,方泰新材經過多年的技術攻關,解決了大尺寸、薄壁、中空等復雜結構碳化硅結構件的精密加工制備難題,突破了該類精密碳化硅結構件制備技術的技術瓶頸,極大地推進了集成電路制造裝備用關鍵結構件的國產化。
1、碳化硅陶瓷,氧化鋯陶瓷主要包含無壓燒結碳化硅(SSiC)、反應燒結碳化硅(RBSC)、化學氣相沉積碳化硅(CVD-SiC)
1、碳化硅陶瓷,氧化鋯陶瓷主要包含無壓燒結碳化硅(SSiC)、反應燒結碳化硅(RBSC)、化學氣相沉積碳化硅(CVD-SiC)
2、碳化硅具有各種優異的性能:超硬、耐磨、 高熱導率和機械強度、 低熱膨脹系數、 優異的熱穩定性、低密度、高比剛度、無磁性。
3、目前在航空、航天、核工業等各個行業均有碳化硅陶瓷的應用,如碳化硅陶瓷反射鏡,IC集成電路制造等高端裝備用陶瓷部件,極端條件下的熱交換器、防彈材料等。
陶瓷機械手臂,陶瓷叉齒,氧化鋯機械手臂,碳化硅機械手臂,陶瓷機械手臂,西安中威新材料有限公司
3、目前在航空、航天、核工業等各個行業均有碳化硅陶瓷的應用,如碳化硅陶瓷反射鏡,IC集成電路制造等高端裝備用陶瓷部件,極端條件下的熱交換器、防彈材料等。
陶瓷機械手臂,陶瓷叉齒,氧化鋯機械手臂,碳化硅機械手臂,陶瓷機械手臂,西安中威新材料有限公司