碳化硅懸臂槳
碳化硅懸臂漿，碳化硅擴散槳，設計特點：1、在高溫環境下不變形，晶片裝載力大；2、耐極冷急熱，使用壽命長；3、懸臂漿熱膨脹系數極小，極大地延長了維護清洗的周期；并大幅減少污染物。應用在擴散爐中對多晶硅硅片或單晶硅硅片的（擴散）涂層過程中，對硅片在高溫環境中（1000---1300℃）的承載輸送作用，是半導體晶圓裝載系統的關鍵部件。常規尺寸有2378毫米，2550毫米，2660毫米等。
碳化硅懸臂槳，碳化硅擴散槳，SIC槳，碳化硅槳
訂購熱線：029-63618609；13571957961
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坩堝匣缽