碳化硅反射鏡

SiC陶瓷反射鏡的制備工藝及特點

SiC反射鏡坯體，碳化硅反射鏡,SIC反射鏡,碳化硅陶瓷反射鏡,輕量化反射鏡，長春光機所反射鏡根據其制備工藝的不同可分成很多種。主要的材料類型普通碳化硅反射鏡,SIC反射鏡,碳化硅陶瓷反射鏡,輕量化反射鏡，長春光機所反射鏡燒結法SiC(Sintered SiC)、熱(等靜)壓法SiC(HP SiC)、反應燒結法SiC(RB SiC)、化學氣相沉積法SiC(CVD SiC)、多孔泡沫法SiC (Porous SiC)陶瓷等。 碳化硅反射鏡,SIC反射鏡,碳化硅陶瓷反射鏡,輕量化反射鏡，長春光機所反射鏡為不同工藝方法制備的SiC陶瓷反射鏡性能比較。從各 神工藝制備的SiC陶瓷材料都具有反射鏡要求的優異力學性能及熱物理性能, 但只有CVD工藝制備的SiC材料能夠滿足光學加工要求，適合用作高性能反射 鏡的光學鏡面，但CVD制備工藝周期長，僅適合制備高純度、薄層制品，因 此在制備厚的高性能SiC陶瓷反射鏡時，通常需將反射鏡坯體與反射鏡光學鏡 面釆用不同工藝分別制備,以利用不同制備工藝的優點滿足反射鏡使用的要求。西安中威新材料有限公司碳化硅反射鏡,SIC反射鏡,碳化硅陶瓷反射鏡,輕量化反射鏡，長春光機所反射鏡，陶瓷反射鏡一般由坯體及表面光學反射層組成，坯體要求滿足反射鏡所要求的 力學、熱學以及輕覺化結構要求，而光學層材料則要求細晶、致密、可加工到足夠 髙的表面光潔度，以及與坯體的物理、化學性能相匹配。除CVD SiC涂層外，由于琪品或多品Si與SiC材料有良好的熱匹配性能，同時也能夠滿足光學拋光精 度的要求,常用來作為SiC反射鏡表面的光學反射涂層。